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七星流量計
簡要描述：七星流量計，氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）和氣體質(zhì)量流量計（MFM）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密控制和測量。它們在半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應用。
產(chǎn)品型號： CS200
所屬分類：氣體流量控制器
更新時間：2023-03-24
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應用領(lǐng)域 | 化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,航空航天 |
警告：必須要非常小心地處理有毒的、腐蝕性的或易燃易爆的氣體。在質(zhì)量流量控制器/ 流量計安裝之后，應該*的檢查整個氣路以保證沒有氣體泄漏。通入腐蝕性氣體之前應先通一個小時的干燥惰性氣體以清洗質(zhì)量流量控制器/流量計。
重要提示：當安裝質(zhì)量流量控制器/流量計時，確保產(chǎn)品通道所示的箭頭方向與流經(jīng)產(chǎn)品的氣體流動方向相同
七星流量計在大多數(shù)應用場合下，需要在氣路中安裝一個截止閥。截止閥與 MFC 或 MFM 間的截留加壓氣體將會產(chǎn)生清洗效果，用戶應根據(jù)情況來決定截止閥的安裝位置(上游或下游)。為了防止污染，建議您在產(chǎn)品的上游管路中安裝過濾器。
注意 : 氣體質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。
質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: SCCM (標準毫升/分);
SLM (標準升/分)
標準狀態(tài)規(guī)定為: 溫度 —— 273.15K ( 0℃ );
氣壓 —— 101325 Pa (760mm Hg)
在七星流量計 MFC/MFM 產(chǎn)品中心，單位 SCCM 和“mL/min, 0℃,1atm”等同，單位 SLM 和“L/min, 0℃,1atm”等同。
F.S. (Full Scale): 滿量程值 ； S.P.(Set Point)： 設定點值
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